在20世纪60年代，我国已开发出真空冷冻干燥设备，当时主要用于制药行业。为了拓宽应用范围，我国又开发出大型真空冷冻干燥设备，计划用于保健品和农产品加工领域。但由于当时国内市场需求不旺，因此，60年代末至80年代初，真空冷冻干燥设备行业一直处于低潮。
1998年开始，真空冷冻干燥设备行业的市场形势趋于好转，销势开始回升，处于一个较好的状态。我国食品、保健品及医药行业所用的大型真空冷冻干燥设备，主要是从国外进口的产品，价格十分昂贵。虽然国内有少数企业生产此类设备，但由于存在技术、工艺、质量方面的问题，使这类国产设备很难推广，这些问题主要包括：一是加热不均匀；二是真空度不够，影响干燥速度。据测定，升华干燥的真空度临界点即三相点为：压力为4．7mmHg，温度为0℃。
微波真空冷冻干燥设备在我国面市已有10多年的时间，但多为小型设备。由于生产该种设备的技术难度很大，所以，该种设备一直未得到很好的推广。
在生产微波真空冷冻干燥设备的过程中，最突出的技术难题是低气压气体的放电问题：处于真空状态下的气体，在稀释到一定程度时，在外界加入能量的情况下，会产生高频放电现象。低气压气体出现高频放电现象，产生的危害是微波能输送不到物料内、微波反射严重、毁坏微波炉的密封窗，继而破坏微波炉内的真空状态。